[17a-B3-1~11] 15.6 IV族系化合物

[17a-B3-6] 4H-SiC熱酸化膜の薄膜領域(<10 nm)における直線的な成長過程の検証

^○菊地リチャード平八郎¹，喜多浩之^1,2 (東大院工¹，JST さきがけ²)

キーワード：熱酸化膜,SiC,酸化過程