[17p-B4-1~18] 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[17p-B4-18] Cu配線層中に形成した高オンオフ比P型酸化物FET

^○砂村潤，金子貴昭，古武直也，齋藤忍，成広充，五十嵐信行，羽根正巳，林喜宏 (ルネサス)

キーワード：BEOL-Tｒ,P型,Cu配線