[18a-C2-1~8] 8.4 プラズマエッチング

[18a-C2-8] プラズマによるHとNラジカルの表面損失確率の変化

^○鈴木俊哉，竹田圭吾，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝 (名大工)

キーワード：Radical denisity,Loss probabirity,Etching