[18p-C5-1~8] 大電力パルススパッタリングによる反応性成膜プロセスの可能性（関連大分類：8）

[18p-C5-5] 大電力パルススパッタプロセスによるカーボン膜の産業応用（30分）

^○平塚傑工^1,2，中森秀樹¹ (ナノテック¹，東理大基礎工²)

キーワード：大電力パルススパッタ