[18p-C5-1~8] 大電力パルススパッタリングによる反応性成膜プロセスの可能性（関連大分類：8）

[18p-C5-4] 高出力パルスマグネトロンスパッタリングによるカーボンイオンの高密度生成（30分）

^○木村高志 (名工大工)

キーワード：カーボンスパッタ,パルス放電,成膜プロセス