2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.5 Siプロセス技術

[19a-P5-1~14] 13.5 Siプロセス技術

2013年9月19日(木) 09:30 〜 11:30 P5 (デイヴィス記念館 )

09:30 〜 11:30

[19a-P5-6] DLB-CLC poly-Si結晶化におけるレーザ照射オーバラップの効果

山野真幸1,黒木伸一郎1,佐藤旦1,秦信宏2,小谷光司3,吉川公麿1 (広島大ナノデバイス1,産総研2,東北大院3)

キーワード:TFT,poly-Si,結晶化