[19p-B4-1~21] 13.5 Siプロセス技術

[19p-B4-16] O2混合Arスパッタにより成膜したSiO2膜の電気特性評価

^○井村公彦，岡田竜弥，杉原弘也，下田清治，野口隆 (琉球大)

キーワード：SiO2膜