[19p-B4-1~21] 13.5 Siプロセス技術

[19p-B4-17] 極薄PtHfSi形成におけるスパッタガス種の影響

^○吉村泰彦，大見俊一郎 (東工大総理工)

キーワード：スパッタ,Kr