[20p-D7-1~8] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[20p-D7-7] AlGaN/GaN ヘテロ構造を用いたpHセンサの温度依存性

^○新潟一宇，逢坂直也，楢野和宏，敖金平 (徳島大院STS研)

キーワード：pHセンサ,窒化物半導体