[29p-B1-1~20] 7.4 ナノインプリント

[29p-B1-2] ナノ電極リソグラフィにおける多重パターニングを使ったギャップパタン狭幅化 (1:45 PM ～ 2:00 PM)

^○横尾篤^1,2，ゲディミナス ダウデリス¹，福田眞³，納富雅也^1,2 (NTTナノフォトニクスセンタ¹，ＮＴＴ物性研²，弘前大院理工³)

キーワード：ナノインプリント、ケミカル・ナノインプリント、ナノ電極リソグラフィ