[18p-C5-1~19] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18p-C5-10] 水素雰囲気異方性熱エッチング(HEATE)法で作製したInGaN/GaN量子井戸ナノ構造の光学特性評価

^○蜂屋諒¹，喜多諒¹，菊池昭彦^1,2 (上智大理工¹，上智大ナノテクセンター²)

キーワード：熱分解