2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[19p-A16-1~18] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2014年9月19日(金) 13:30 〜 18:15 A16 (E307)

17:30 〜 17:45

[19p-A16-16] 固相エピタキシャル成長法による高Sn組成(>20%)SiSn薄膜の創製

加藤元太1,黒澤昌志1,2,山羽隆1,田岡紀之1,中塚理1,財満鎭明1 (名大院工1,学振特別研究員(PD)2)

キーワード:SiSn,solid phase epitaxy,固相エピタキシャル成長