[18a-D8-1~12] 13.2 絶縁膜技術

[18a-D8-7] SiN膜組成に依存したMONOS型メモリのデータ保持劣化メカニズム解明

^○藤井章輔，安田直樹 (東芝)

キーワード：不揮発性メモリ