[18p-E13-1~18] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [18p-E13-13] HVPE法による周期溝加工AlN自立基板へのホモエピタキシャル成長

^○（M1）渡邉祥順¹，三宅秀人¹，平松和政¹，岩崎洋介²，永田俊郎² (三重大院工¹，JFEミネラル 技術研究所²)

キーワード：HVPE,AlN,溝加工