2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[18p-F6-1~20] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2014年3月18日(火) 13:30 〜 18:45 F6 (F306)

14:15 〜 14:30

[18p-F6-4] MOCVD法によるGeエピタキシャル成長

須田耕平1,石原聖也1,町田英明2,石川真人2,須藤弘2,大下祥雄3,小椋厚志1 (明治大1,気相成長2,豊田工大3)

キーワード:GeSn,MOCVD,エピタキシャル成長