[19a-F12-1~13] 13.4 デバイス/集積化技術

[19a-F12-1] シリコントライゲートナノワイヤトランジスタにおける低周波ノイズのチャネルサイズ依存性

^○齋藤真澄，太田健介，田中千加，沼田敏典 (東芝研開セ)

キーワード：ナノワイヤ,ノイズ,トランジスタ