2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

[19p-D9-1~18] 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

2014年3月19日(水) 14:00 〜 19:00 D9 (D315)

14:30 〜 14:45

[19p-D9-3] 化学的転写法によるシリコンナノクリスタル層とシリコンマイクロホールの作製

今村健太郎,入鹿大地,赤井智喜,小林光 (阪大産研)

キーワード:シリコンナノクリスタル