[19p-E14-1~21] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19p-E14-13] ミニマル液体ドーピングプロセス

^○古賀和博¹，梅山規男^1,2，居村史人¹，浅野均¹，遠江栄希¹，ソマワンクンプアン^1,2，原史郎^1,2 (ミニマルファブ技術研究組合¹，産総研²)

キーワード：Minimal,液体ドーピング,ボロンドーピング