[19p-E14-1~21] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19p-E14-9] ミニマルマスクレス描画装置の重ね合せ精度

^○北山侑司¹，田中洋輔^1,2，入田亮一^1,2，三宅賢治^1,2，ソマワンクンプアン^1,3，原史朗^1,3 (ミニマルファブ技術研究組合¹，PMT²，産総研³)

キーワード：ミニマルファブ