[19p-F6-1~18] 8.4 プラズマエッチング

[19p-F6-11] Si、SiO2およびSiNにおけるSiBrxイオンによる反応

^○唐橋一浩¹，村木裕¹，李虎¹，松隈正明²，浜口智志¹ (阪大院工¹，東京エレクトロン²)

キーワード：エッチング生成物,HBｒ