[15a-1E-1~10] 3.13 半導体光デバイス

△ [15a-1E-8] InP系90^oハイブリッドの低伝搬損失化によるコヒーレントレシーバ用集積受光素子の高感度動作

〇菊地 健彦¹、八木 英樹^1,2、増山 竜二^1,2、櫻井 謙司²、西本 頼史²、堀野 和彦^1,2、江川 満¹、米田 昌博²、小路 元¹ (1.住友電気工業(株)、2.住友電工デバイス・イノベーション(株))

キーワード：90°ハイブリッド、多モード干渉、コヒーレントレシーバ

コヒーレントレシーバの小型化にはInP系90^oハイブリッドが有利であり、我々はこれまでに、MMI導波路で構成した90^oハイブリッドの出力端にPDをモノリシック集積した受光素子において、Cバンド全域で0.120 A/W以上の高受光感度を実現してきた。一方、今後デバイスの高速化ニーズに対し、PD面積と相関のある受光感度はトレードオフとなる。今回我々はこれらの両立のため、90^oハイブリッド部分の伝搬損失低減を行い、高感度化を実現したので報告する。