[16a-2H-1~13] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[16a-2H-7] 多結晶Cu₂O:Naシート上へのCu₂O薄膜のエピタキシャル成長と太陽電池への応用

〇西 祐希¹、宮田 俊弘¹、南 内嗣¹ (1.金沢工大 OEDS R&D センター)

キーワード：Cu2O、太陽電池

我々は, Na化合物を使って熱処理を施したp形Cu₂Oシートにおいて, 熱処理温度と時間を変化させることによってNa添加 Cu₂O(Cu₂O:Na)中のホール濃度(p)を10¹³ -10¹⁹ [cm^-3]の間で制御できることを報告している¹⁾．今回は, これらのCu₂O:Naシートを基板に用いて高品質Cu₂O薄膜をエピタキシャル成膜することを目的として, 使用する成膜技術及び成膜条件を詳細に検討した. また, エピタキシャル成長させたCu₂O薄膜/p-Cu₂O:Naを用いて太陽電池を作製した結果についても述べる.