[12p-A18-1~18] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

△ [12p-A18-11] シリコンウェーハ中の酸素析出物を起因とするSlip転位発生の臨界応力

〇藤瀬 淳¹、高 奉均¹、鳥越 和尚¹、小野 敏昭¹ (1.株式会社SUMCO)

キーワード：酸素析出物、転位