[12p-A18-1~18] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

△ [12p-A18-16] 炭素クラスターイオン照射によるSiウェーハの近接ゲッタリング（4） -低温クラスター照射が照射欠陥の形成に与える影響-

〇廣瀬 諒¹、奥山 亮輔¹、門野 武¹、岩永 卓朗¹、古賀 祥泰¹、奥田 秀彦¹、栗田 一成¹ (1.株式会社SUMCO)

キーワード：低温クラスターイオン照射、欠陥形成挙動、アモルファス化