[14a-A27-1~15] 8.4 プラズマエッチング

[14a-A27-9] 1/C²法によるH₂およびHeプラズマ誘起ダメージ層構造の解析

〇江利口 浩二¹、深沢 正永²、長畑 和典²、辰巳 哲也²、斧 高一¹ (1.京大院工, 2.ソニー（株）)

キーワード：プラズマ、欠陥、アニール