[13a-D61-1~12] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[13a-D61-9] ナノインプリント法にもとづくポリマースルーホールメンブレンの形成

〇柳下 崇¹、田村 東子¹、近藤 敏彰¹、益田 秀樹¹ (1.首都大都市環境)

キーワード：ナノインプリント、陽極酸化ポーラスアルミナ、ポリマースルーホールメンブレン