11:30 AM - 11:45 AM
△ [13a-D61-10] The effect of atmosphere and interfacial state on atomic-scale transcription onto the polymer surface by thermal nanoimprint
Keywords:thermal nanoimprint, atomic-scale, polymer
ガラスやポリマーなど秩序構造を持たない非晶材料表面において、ナノサイズの周期的パターン形成による表面化学状態の変化や表面機能の発現は、新規な薄膜堆積基板などへの応用が期待される。本研究では、原子スケールパターン転写の因子を明らかにすることを目的として、ポリマーへの熱ナノインプリントにおける雰囲気およびモールド表面のバッファ物質が転写後の周期パターン形状や表面粗さに与える影響について検討した。