The 77th JSAP Autumn Meeting, 2016

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Oral presentation

7 Beam Technology and Nanofabrication » 7.3 Micro/Nano patterning and fabrication

[13a-D61-1~12] 7.3 Micro/Nano patterning and fabrication

Tue. Sep 13, 2016 9:00 AM - 12:15 PM D61 (Bandaijima Bldg.)

Toshiyuki Horiuchi(Tokyo Denki Univ.), Yoshihiko Hirai(Osaka Pref. Univ.), Jun Taniguchi(Tokyo Univ. of Sci.), Hiroaki Oizumi(GIGAPHOTON)

11:30 AM - 11:45 AM

[13a-D61-10] The effect of atmosphere and interfacial state on atomic-scale transcription onto the polymer surface by thermal nanoimprint

Taichiro Kinoshita1, Kodai Shimada1, Koji Koyama2, Masahiro Mita3, Satoru Kaneko4,1, Akifumi Matsuda1, Mamoru Yoshimoto1 (1.Tokyo Inst. of Tech, 2.Namiki Precision Jewel Co., Ltd., 3.KYODO INTERNATIONAL, INC., 4.Kanagawa Ind. Tech. Cent.)

Keywords:thermal nanoimprint, atomic-scale, polymer

ガラスやポリマーなど秩序構造を持たない非晶材料表面において、ナノサイズの周期的パターン形成による表面化学状態の変化や表面機能の発現は、新規な薄膜堆積基板などへの応用が期待される。本研究では、原子スケールパターン転写の因子を明らかにすることを目的として、ポリマーへの熱ナノインプリントにおける雰囲気およびモールド表面のバッファ物質が転写後の周期パターン形状や表面粗さに与える影響について検討した。