[15a-A23-1~10] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[15a-A23-8] 超高温 RTP による窒素ドープCz-Siウェーハの酸素析出核の消滅挙動

〇岡村 秀幸¹、須藤 治生¹、荒木 浩司¹、斉藤 広幸¹、前田 進¹、末岡 浩治²、中村 浩三³ (1.グローバルウェーハズ・ジャパン、2.岡山県大 情報工、3.岡山県大 地域共同研究機構)

キーワード：急速昇降温熱処理、酸素析出核、格子間シリコン