[15p-A23-1~20] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[15p-A23-5] 炭素クラスターイオン注入Siエピウェーハの特徴(1)
-注入層における酸素が重金属のゲッタリング能力に与える影響-

〇柾田 亜由美¹、仲井 敏郎¹、廣瀬 諒¹、門野 武¹、奥山 亮輔¹、古賀 祥泰¹、奥田 秀彦¹、栗田 一成¹ (1.株式会社 SUMCO)

キーワード：シリコンウェーハ、炭素クラスターイオン注入、近接ゲッタリング