[19p-W621-1~12] 8.4 プラズマエッチング

[19p-W621-4] 層間絶縁膜へのプラズマダメージの電気的解析手法

〇(M1)西田 健太郎¹、岡田 行正¹、鷹尾 祥典²、江利口 浩二¹、斧 高一¹ (1.京大院工、2.横国大院工)

キーワード：プラズマダメージ、電気容量、層間絶縁膜