[19p-W621-1~12] 8.4 プラズマエッチング

[19p-W621-8] YOFセラミックスのプラズマ耐性評価

〇津之浦 徹¹、吉田 克己¹、矢野 豊彦¹ (1.東工大)

キーワード：YOF、プラズマ照射、耐食性材料

YOFセラミックスは、半導体製造装置向けの耐プラズマ材料として、構造材料およびコーティング材料への適用が期待されている。本研究では、YOFの緻密なバルク体を作製し、フッ素系プラズマ照射を行った。その結果、従来材料であるイットリアと比較して、YOFセラミックスは優れた耐食性を示した。