[20p-W621-1~7] 真空・減圧プロセスにおける気体の流れの解析

[20p-W621-6] プラズマプロセスにおけるシミュレーション

〇松永 史彦¹ (1.ペガサスソフトウェア)

キーワード：非平衡プラズマ、シミュレーション、流体モデル

プラズマプロセス技術（プラズマＣＶＤ、エッチング、スパッタリング等）で用いられる非平衡・低温プラズマに関して、流体モデルを用いた数値シミュレーションについて考え方の概要を説明する。また商用ソフトウェア PEGASUS/PHM を用いておこなったシミュレーション結果をいくつか紹介する。