[21p-P17-1~26] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [21p-P17-22] マイクロサイズ圧縮試験を用いたAl合金の変形挙動における結晶粒界の研究

〇鄭 伯倫¹、名越 貴志^1,2、チャン ツォーフ マーク¹、細田 秀樹¹、里 達雄¹、曽根 正人¹ (1.東工大、2.産総研)

キーワード：双結晶、マイクロ圧縮試験、アルミニウム