[21p-P17-1~26] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [21p-P17-24] 微小圧縮試験及び微小引張試験によるMEMS用Cu-Ni-Si合金の機械的特性評価

〇(M1)柳田 佐理^1,2、荒木 章好¹、Chang Tso-Fu Mark^1,2、Chen Chu-Yi^1,2、名越 貴志³、小林 郁夫¹、細田 秀樹¹、里 達雄¹、曽根 正人^1,2 (1.東工大、2.CREST、3.産総研)

キーワード：微小機械試験、Cu-Ni-Si合金、MEMS