09:30 〜 09:45 [8a-C21-2] シリコン同位体周期構造を用いた共注入フッ素・ホウ素と自己拡散の同時観測 〇(M2)木我 亮太郎1、植松 真司1,2、伊藤 公平1,2 (1.慶大理工、2.慶大TCAD研究開発センター)