[6p-S41-1~10] 7.5 イオンビーム一般

[6p-S41-8] ClF₃中性クラスターエッチング表面の凹凸構造

〇瀬木 利夫¹、荘所 正²、小池 国彦²、青木 学聡³、松尾 二郎¹ (1.京大院工、2.岩谷産業、3.京大メディアセンター)

キーワード：クラスター、中性ビーム、エッチング