[7p-PA3-1~8] 8.1 プラズマ生成・制御

△ [7p-PA3-6] 容量結合を考慮した誘導結合プラズマ点火の解析

〇(M2)森山 誠¹、Ganachev Ivan^1,2、中村 圭二¹ (1.中部大工、2.芝浦メカトロニクス)

キーワード：誘導結合プラズマ、容量結合プラズマ、プラズマ点火