[14p-P3-1~19] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[14p-P3-9] ＬＳＩ混載型ファブリペロー干渉計バイオ・ケミカルセンサ

〇丸山 智史¹、飛沢 健¹、高橋 一浩¹、澤田 和明¹ (1.豊橋技術科学大学)

キーワード：ＭＥＭＳ

血液検査による病気を迅速に診断する方法は、的確な施術や治療方針の確立が重要である。病気に由来して血中濃度が増加するタンパク質に着目し、病気由来のタンパク質をバイオマーカーといい、微量の血液でバイオマーカーを検出することによって、病気の診断がリアルタイムで行えるようになれば、安価で簡単かつ迅速に検査が可能になる。本研究では、液中において吸着による表面変化をリアルタイムにセンシングすることが可能な表面応力センサの特徴に着目し、バイオマーカーの濃度変化や特定のマーカーが検出可能な光学検出型バイオセンサの作製を目的とする。