[17a-315-1~15] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

△ [17a-315-6] 異なる化学構造を有するポリマー膜に対する水プラズマアッシングプロセスの分光学的検討

〇(M1C)鈴木 宏明¹、北野 卓也¹、塩田 有波¹、石島 達夫¹、田中 康規¹、上杉 喜彦¹、西山 聖²、堀邊 英夫² (1.金沢大、2.大阪市大)

キーワード：水プラズマ、レジスト除去、アッシング