09:30 〜 09:45 [21a-145-3] 高純度オゾン由来の活性種を用いた室温CVD-SiO2膜の特性 〇亀田 直人1、三浦 敏徳1、森川 良樹1、花倉 満1、中村 健2、野中 秀彦2 (1.明電舎、2.産総研)