15:15 〜 15:30 [20p-438-7] 高アスペクト比ホールエッチングにおけるstriationの発生原因 〇橋本 惇一1、大村 光広1、足立 昂拓1、近藤 祐介1、石川 勝朗1、阿部 淳子1、松下 貴哉1、林 久貴1 (1.東芝メモリ)