18:30 〜 18:45 △ [20p-438-19] スロットアンテナマイクロ波励起プラズマにおける均一性の改善 〇相澤 洸1、島田 大伸1、田中島 優1、石島 達夫1、田中 康規1、上杉 喜彦1 (1.金沢大自然)