[19p-131-1~15] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[19p-131-3] Cz Si引上げ炉内の黒鉛部材から発生するCOガスとSiの反応

〇坪田 寛之¹、永井 勇太¹、安部 吉亮¹、松村 尚¹ (1.グローバルウェーハズ・ジャパン)

キーワード：結晶成長、シリコン、炭素濃度