[18p-C201-1~7] イオンビームと表面分析：二次イオン質量分析法（SIMS）の最近の進歩と有機分析への応用

[18p-C201-3] 真空型エレクトロスプレー液滴イオン銃の開発とTOF-SIMS測定への応用

〇二宮 啓¹、髙木 悠一郎¹、チェン リーチュイン¹、平岡 賢三² (1.山梨大院総合、2.山梨大クリーン)

キーワード：二次イオン質量分析、エレクトロスプレー水滴

我々は水溶液を真空下で安定にエレクトロスプレーするための技術開発を行い、それをもとに真空型エレクトロスプレー液滴イオン(V-EDI)銃を試作した。このV-EDI銃を三重収束飛行時間アナライザーに設置しTOF-SIMS測定を行って脱離イオン化効率の評価を進めている。講演ではV-EDI銃の開発経緯について紹介するとともに、この一次ビームをTOF-SIMS測定で利用する際の課題などについて議論する。