[19p-C202-1~17] 17.3 層状物質

△ [19p-C202-15] 酸素分離型蒸着装置による2次元層状チャネル上へのHigh-k絶縁膜堆積

〇丸山 航平¹、長汐 晃輔^1,2 (1.東京大工、2.JST-さきがけ)

キーワード：High-k