16:00 〜 16:15 [19p-E304-9] ミニマルファブを用いた2層Al配線プロセスの開発 〇古賀 和博1、森川 剛一2、加瀬 雅3、佐藤 和重1、クンプアン ソマワン1,3、原 史朗1,3 (1.ミニマルファブ推進機構、2.宇宙航空研究開発機構、3.産総研)