[18a-PA5-1~8] 3.15 シリコンフォトニクス

[18a-PA5-7] オンチップ光回路へ向けた微結晶シリコンの光学特性評価

〇(M2)近藤 優一郎¹、武井 亮平²、庄司 雄哉¹、水本 哲弥¹、亀井 利浩² (1.東工大、2.産総研)

キーワード：シリコンフォトニクス、非線形光学、光変調器

μc-Si:Hは微結晶とアモルファスシリコン(a-Si:H)から成る化合物であり，PECVDによって低温(250℃)で結晶成長させることができる．また，μc-Si:Hはa-Si:Hと比較して導電率が高く，能動素子への応用も期待される．我々はオンチップ光能動素子への応用へ向けて，μc-Si:Hの通信波長帯における光学特性評価を行った．