[19a-E304-1~12] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[19a-E304-1] シリコン電極薄型燃料電池の開発
－電気化学原子層堆積法によるPdとPtの原子層作製と評価－

〇入田 賢¹、小船 想士朗¹、黒瀬 智洋¹、早瀬 仁則¹、Vasiljevic Natasa² (1.東理大理工、2.Univ. of Bristol)

キーワード：MEMS、触媒、電気化学原子層堆積法

我々は，これまでに電気化学原子層堆積法(ALD)によるAu-Pd-Pt多層触媒の作製，そして小型燃料電池への応用研究を行ってきた．電気化学的ALDにより多孔質Au上にPdとPtの原子層を堆積形成したAu-Pd-Pt多層触媒は，O₂と100 ppm COを含んだH₂を用いた場合でも約100 mW/cm²の発電を行うことができ，性能低下がないことを確認している．作製したPdとPtの原子層が高いCO耐性を示している．本発表では，作製したPdとPtの原子層について，電子顕微鏡による構造評価とCO耐性の関係について発表する．