[21a-C310-1~12] 6.4 薄膜新材料

[21a-C310-4] 超軽量ベンダブルセラミック薄膜サーミスタセンサ

〇中島 智彦¹、土屋 哲男¹ (1.産総研)

キーワード：フレキシブルセラミックス、サーミスタセンサ、光結晶化

サーミスタは未病対策などに代表される生体モニタリング用ウェアラブルデバイスの重要な構成部品となる。本研究では5μmという極薄ポリイミド上へ化学溶液法によって前駆体膜を塗布形成し、光結晶化条件を極めて精緻に最適化することで膜厚1μmの酸化物サーミスタの製膜に成功した。数十mgのサーミスタシートは人体に容易に吸着するほど軽量かつ形状可変で、基材の熱容量の小ささから極めて高速な温度応答が可能となった。