[21p-B31-1~14] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[21p-B31-4] HVPE法を用いたβ-Ga₂O₃成長における成長温度と供給VI/III比の影響

〇後藤 健¹、三浦 遼¹、加茂 崇¹、竹川 直¹、村上 尚^1,2、熊谷 義直^1,2 (1.東京農工大、2.東京農工大IGIR)

キーワード：酸化ガリウム、ハライド気相成長